Introduction

• Photo Resist이 용해되어 있는 현상폐액을 Nano filter를 이용하여 Photo Resist을 제거한 후 재사용하는 System.

Application

• DPF (Developer Purification & Filtration System)

Introduction

• Developer의 현상액을 Sampling하여 농도(Alkali/Resist/탄산염)를 일정하게 유지하도록 관리하는 System.

Application

• DDS-11

관리항목

• Alkali 농도 : 도전율 측정
• 용해Resist 성분 : 흡광도 측정
• 탄산염 농도 : 굴절률 측정