Introduction

• 반도체 및 LCD 공정에 사용되는 Chemical을 공급하는 설비로 Chemical Drum 또는 Tank Lorry로부터 Storage Tank에 저장 후 Supply Tank로 이송하여 N₂ 가압 및 Pumping으로 P.O.U 에 공급

Application

• 전 공정 Chemical 공급

Supply Method

• Pumping Supply
• N₂ Pressure Supply

Introduction

• Chemical과 DIW를 Batch 방식으로 Blending하는 System.
• Mixing Tank 이용하여 Blending을 실시 후, Storage Tank 또는 Supply Tank로 공급.
• Heat Exchanger 적용

Application

• DSP (Dilute Sulfuric Peroxide) : HF, H₂0₂, H₂SO₄, DIW
• SC-1 (Standard Cleaning) : H₂0₂, NH₄OH, DIW

Supply Method

• Pumping
• N₂ Pressure Supply

Blending Method

• Batch
• In-line

Introduction

• Developer와 DIW를 Batch 또는 In-line 방식으로 Blending하는 System.
• Mixing Tank 이용하여 Blending을 실시 후, Storage Tank 또는 Supply Tank로 공급.
• Mixing Tank와 Storage Tank간 연결되어있는 연통관 배관을 이용하여 자유낙하 방식으로 이송하여 농도 Hunting이 적음.

Supply Method

• Pumping
• N₂ Pressure Supply

Blending Method

• In-Line Mixing Module & Pumping Circulation

Introduction

• NH₄OH 또는 HF와 DIW를 In-line 방식으로 Blending하는 System.
• Mixing Tank 이용하여 Blending을 실시 후, Storage Tank 또는 Supply Tank로 공급.
• Mixing Tank와 Storage Tank간 연결되어있는 연통관 배관을 이용하여 자유낙하 방식으로 이송하여 농도 Hunting이 적음.

Blending Method

• In-Line Mixing Module & Pumping Circulation