Introduction

• Photo Resist が溶解されている現象廃液をNano filterを利用してPhoto Resist を取り除いた後、再使用するSystem。

Application

• DPF (Developer Purification & Filtration System)

Introduction

• Developerの現像液をSamplingして濃度(Alkali/Resist/炭酸塩)を一定に維持するように管理するSystem。

Application

• DDS-11

管理項目

• Alkali 濃度 : 導電率を測定
• 溶解Resistの成分 : 吸光度を測定
• 炭酸塩濃度 : 屈折率を測定